BSL / ASML / SVG / PERKIN-ELMER
MICRALIGN 661 HT
Mask Aligners
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Manufacturer
BSL / ASML / SVG / PERKIN-ELMER
Overview
ASML transferred all assets and rights of its Micralign (acquired from Perkin-Elmer) Product Line to Beta Squared Lithography, Inc., on July 1st, 2012.
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